Technologische Lösungen für hochpurige Gasabgabesysteme für Halbleiterprozesse

Hochpüren Gasrohrtechnologie ist ein wichtiger Bestandteil des Gasversorgungssystems mit hohem Purity, das die Schlüsseltechnologie für die erforderliche hohe Purity-Gas bis zum Gebrauch ist und dennoch die qualifizierte Qualität beibehält. Die hochreine Gasrohrtechnologie umfasst das korrekte Design des Systems, die Auswahl von Ausstattung und Zubehör, Konstruktion und Installation sowie Tests. In den letzten Jahren haben die zunehmend strengeren Anforderungen an den Reinheit und Verunreinigungsgehalt von hohen Gasen bei der Herstellung von Mikroelektronikprodukten, die durch integrierte groß angelegte Kreisläufe vertreten, die Rohrleitungstechnologie von Gasen mit hoher Purität zunehmend betroffen und betont gemacht. Das Folgende ist ein kurzer Überblick über die hohe Purity-Gasrohre aus der Materialauswahlof Konstruktion sowie Akzeptanz und tägliches Management.

Arten von gemeinsamen Gasen

Klassifizierung gemeinsamer Gase in der Elektronikindustrie:

Gemeinsame Gase（Schüttgas）: Wasserstoff (h₂₎Stickstoff (n₂), Sauerstoff (o₂), Argon (a₂), usw.

Spezialgasesind sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCl,CF₄ ,NH_3,Pocl_3, SIH2CL₂ Sihcl3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Sif₄ ,Clf₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,Hf,HBR SF₆…… usw.

Die Arten von Spezialgasen können im Allgemeinen als ätzend eingestuft werdenGas, giftigGas, brennbarGasbrennbarGas, inertGasusw. Die häufig verwendeten Halbleitergase werden im Allgemeinen wie folgt klassifiziert.

(i) korrosiv / giftigGas: Hcl, bf₃, Wf₆, Hbr, sih₂Cl₂, NH₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃…usw.

(ii) EntflammbarkeitGas: H₂, Ch₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, Sih₂Cl₂, B₂H₆, Ch2f_2,Ch₃F, Co… etc.

(iii) BrennbarkeitGas: O₂, Cl₂, N₂O, nf₃… usw.

(iv) InertGas: N₂, Vgl₄, C₂F₆, C₄F_8,Sf₆, Co₂, Ne, kr, er… etc.

Viele Halbleitergase sind für den menschlichen Körper schädlich. Insbesondere einige dieser Gase wie Sih₄ Spontane Verbrennung, solange ein Leck heftig mit dem Sauerstoff in der Luft reagiert und zu brennen beginnt; und Asche₃Sehr giftig, jede leichte Leckage kann das Risiko des menschlichen Lebens verursachen, es liegt an diesen offensichtlichen Gefahren, sodass die Anforderungen an die Sicherheit des Systemdesigns besonders hoch sind.

Anwendungsumfang von Gasen  

Als wichtiger grundlegender Rohstoff der modernen Industrie werden Gasprodukte weit verbreitet, und eine große Anzahl von gemeinsamen Gasen oder Spezialgasen wird in Metallurgie, Stahl, Erdöl, chemischen Industrie, Maschinen, Elektronik, Glas, Keramik, Baumaterial, Bau, Bau, Lebensmittelverarbeitung, Medizin und medizinischen Sektoren verwendet. Die Anwendung von Gas wirkt sich insbesondere auf die hohe Technologie dieser Felder aus und ist das unverzichtbare Rohstoffgas oder das Prozessgas. Nur mit den Bedürfnissen und der Förderung verschiedener neuer Industriesektoren und der modernen Wissenschaft und Technologie können die Produkte der Gasindustrie in Bezug auf Abwechslung, Qualität und Quantität aus springenden und begrenzten Grenzen entwickelt werden.

Gasanwendung in der Mikroelektronik- und Halbleiterindustrie

Die Verwendung von Gas hat im Halbleiterprozess immer eine wichtige Rolle gespielt, insbesondere der Halbleiterprozess wurde in verschiedenen Branchen weit verbreitet, von der traditionellen ULSI-TFT-LCD bis zur aktuellen Mikro-Elektro-mechanischen Branche (MEMS), die alle den sogenannten Halbleiterprozess als Herstellungsprozess von Produkten verwenden. Die Reinheit des Gases hat einen entscheidenden Einfluss auf die Leistung von Komponenten und Produkterträgen, und die Sicherheit der Gasversorgung hängt mit der Gesundheit des Personals und der Sicherheit des Anlagenbetriebs zusammen.

Die Bedeutung von hohen Puritätspfeitschaften im Hochpuritätsgastransport

Während des Schmelzens und Herstellungsmaterials aus rostfreiem Stahl können pro Tonne etwa 200 g Gas absorbiert werden. Nach der Verarbeitung von Edelstahl haftete nicht nur die Oberfläche mit verschiedenen Verunreinigungen, sondern auch in seinem Metallgitter eine bestimmte Menge Gas. Wenn der Luftstrom durch die Rohrleitung vorliegt, nimmt das Metall diesen Teil des Gases wieder in den Luftstrom ein und verschmutzt das reine Gas. Wenn der Luftstrom im Röhrchen diskontinuierlicher Strömung ist, adsorbiert das Röhrchen das Gas unter Druck, und wenn der Luftstrom aufhört, zu vergehen, bildet das vom Rohr adsorbierte Gas einen Druckabfall, um aufzulösen, und das aufgelöste Gas tritt auch in das reine Gas in das Röhrchen als Verunreinigungen ein. Gleichzeitig werden die Adsorption und Auflösung wiederholt, so dass das Metall auf der inneren Oberfläche des Rohrs auch eine bestimmte Menge Pulver erzeugt, und diese Metallstaubpartikel verschmutzen auch das reine Gas im Röhrchen. Dieses Merkmal des Rohrs ist wichtig, um die Reinheit des transportierten Gases zu gewährleisten, was nicht nur eine sehr hohe Glätte der inneren Oberfläche des Rohrs erfordert, sondern auch einen hohen Verschleißfestigkeit.

Wenn das Gas mit einer starken korrosiven Leistung verwendet wird, müssen korrosionsresistente rostfreie Stahlrohre zur Rohrleitung verwendet werden. Andernfalls erzeugt das Rohr aufgrund von Korrosion Korrosionsflecken auf der inneren Oberfläche, und in schwerwiegenden Fällen wird ein großer Bereich mit Metallabstreifen oder sogar eine Perforation bestehen, die das zu verteilende Reine Gas kontaminieren.

Der Zusammenhang mit hohen Puritäts- und Hochverrückungsgasübertragungs- und Verteilungsleitungen großer Durchflussraten.

Im Prinzip sind alle von ihnen geschweißt, und die verwendeten Röhrchen müssen bei der Anwendung des Schweißens keine Organisation ändern. Materialien mit einem zu hohen Kohlenstoffgehalt unterliegen der Luftdurchlässigkeit der geschweißten Teile beim Schweißen, wodurch die gegenseitige Durchdringung von Gasen innerhalb und außerhalb des Rohrs die Reinheit, Trockenheit und Sauberkeit des übertragenen Gases zerstört, was zum Verlust all unserer Bemühungen führt.

Zusammenfassend ist es für hochreines Gas- und Spezialgasübertragungsrohrlinien erforderlich, eine spezielle Behandlung des rostfreien Stahlrohrs mit hohem Purity-Rohr zu verwenden, um ein hohes Pipeline-System (einschließlich Rohre, Ausstattung, Ventile, VMB, VMP) in hoher Purity-Gasverteilung herzustellen.

Allgemeines Konzept der sauberen Technologie für Übertragungs- und Vertriebspipelines

Ein stark reines und sauberes Gaskörpergetriebe mit Rohrleitungen bedeutet, dass es bestimmte Anforderungen oder Kontrollen für drei Aspekte des Gases gibt, die transportiert werden müssen.

Gasreinheit: Der Gehalt an Verunreinigungsatmosphäre in der GGAS -Reinheit: Der Inhalt der Unreinheitsatmosphäre im Gas, normalerweise als Prozentsatz der Gasreinheit, wie 99,9999%, ausgedrückt, exprimiert auch als Volumenverhältnis der PPM, PPB, PPT.

Trockenheit: Die Menge an Spurenfeuchtigkeit im Gas oder die als Nässe bezeichnete Menge, die normalerweise als Taupunkt ausgedrückt wird, wie z. B. atmosphärischem Druck -Taupunkt -70. C.

Sauberkeit: Die Anzahl der im Gas enthaltenen Verunreinigungspartikel, die Partikelgröße von µm, wie viele Partikel/M3 für Druckluft exprimieren, die normalerweise auch in Bezug auf die Anzahl der mg/m3 unvermeidbaren Feststoffreste exprimiert werden, die den Ölgehalt abdecken.

Klassifizierung der Schadstoffgrößen: Schadstoffpartikel beziehen sich hauptsächlich auf Pipeline-Durchsuchungen, Verschleiß, Korrosion, die durch Metallpartikel, atmosphärische Rußpartikel, sowie Mikroorganismen, Phagen und feuchtigkeitshaltige Gaskondensattröpfchen usw. erzeugt werden, gemäß der Größe seiner Partikelgröße, die in die Größe der Partikelgröße aufgeteilt ist

A) Große Partikel - Partikelgröße über 5 μm

b) Partikel-Materialdurchmesser zwischen 0,1 & mgr; M-5 μm

C) Ultra-Mikropartikel-Partikelgröße weniger als 0,1 μm.

Um die Anwendung dieser Technologie zu verbessern, um das Verständnis der Partikelgröße und der μM -Einheiten wahrgenommen zu haben, wird eine Reihe spezifischer Partikelstatus zur Referenz bereitgestellt

Das Folgende ist ein Vergleich bestimmter Partikel