Die Verwendung von Gasen in der Halbleiterindustrie stammt aus den frühen 1950er bis 1960er Jahren. Während des Halbleiterherstellungsprozesses werden Gase hauptsächlich zum Reinigen und Schutz von Halbleitermaterialien verwendet, um ihre Reinheit und Qualität zu gewährleisten. Zu den am häufigsten verwendeten Gasen gehören Stickstoff und Wasserstoff.
Als sich die Halbleitertechnologie entwickelte und sich die Herstellungsprozesse weiter verbesserte, nahm die Nachfrage nach Gasen zu. Im Jahr 1970 erhöhten sich die Weiterentwicklung der Halbleiterherstellungstechnologie, die Anwendung von Gasen in Schlüsselprozessen wie Ätzen und Ablagerung von Dünnfilmen allmählich, und Fluoridgase (z. B. SF6) und Sauerstoff wurden häufig verwendet, um Ätz- und Ablagerungsgase zu verwenden. 1980 verzeichnete eine weitere Steigerung der Nachfrage nach Gasen mit der Entwicklung integrierter Schaltkreise und dem Anstieg der Nachfrage nach ihnen. Wasserstoff wurde im Herstellungsprozess weit verbreitet, einschließlich Wasserstoffglühen und Wasserstoffdampfabscheidung. Und von 1990 bis heute hat die Nachfrage nach hohen Gasen und spezifischen Gasen zugenommen, da die Größen der Halbleiter-Geräte weiter geschrumpft und neue Prozesse eingeführt wurden. Beispielsweise erfordert die Anwendung der extremen ultravioletten Lithographie (EUV) die Verwendung extrem hoher Purity-Gase wie Stickstoff und Wasserstoff.
Das Halbleitergas nimmt mit der Entwicklung verwandter Produkte, die durch immer mehr Produkte angetrieben werden, weiter zu, während das Gas auch zur Gefahrquelle gehört, sodass die Produkte, die für die Gasdekompression, Gaserkennungsprodukte und die Verhindern von Gasleckprodukten verhindern, wie Druckregulatoren, Gasventile, Gas -Leckage -Detektor -Detektor vorliegen.
Druckregulierungsbehörden: Druckregulatoren sind Geräte, die zur Steuerung des Gasdrucks verwendet werden. Sie bestehen normalerweise aus einem Reglerventil und einem Drucksensor. Druckregulatoren nehmen einen Hochdruckgaseingang ein und stabilisieren den Druck des Ausgangsgass, indem Sie das Ventil einstellen, um die spezifischen Anwendungsanforderungen zu erfüllen. Druckregulierungsbehörden werden in Bereichen wie Industrie, Fertigung und Labors sowie in der Halbleiterindustrie unter anderem häufig eingesetzt, um die Stabilität und Sicherheit der Gasversorgung zu gewährleisten.
Gasventile: Gasventile werden verwendet, um den Gasefluss zu steuern und Gaspassagen zu schließen. Sie haben normalerweise eine Ein/Aus -Funktion, die den Gasfluss öffnet oder schließt. Es gibt verschiedene Arten von Gasventilen, einschließlich Schaltventilen, elektrischen Ventilen und pneumatischen Ventilen. Sie werden in Gassystemen weit verbreitet, um den Durchfluss, den Druck und die Flussrate von Gasen zu steuern.
Gasdruckmessgeräte: Gassteinmessgeräte werden verwendet, um den Druckniveau eines Gases zu messen. Sie werden normalerweise an kritischen Stellen in Gassystemen installiert, um Druckänderungen zu überwachen und sicherzustellen, dass sie sich in sicheren Grenzen befinden. Gasdruckmessgeräte werden in der Industrie, der Fertigung und den Labors weit verbreitet, und die Halbleiterindustrie war ebenfalls beteiligt.
Gas -Leck -Detektoren: Gas -Leck -Detektoren werden verwendet, um Lecks in Gassystemen zu erfassen. Sie erkennenDas Vorhandensein von Gaslecks und ein Alarm, sodass rechtzeitig Maßnahmen ergriffen werden können, um Leckageunfälle zu vermeiden. Gas -Leck -Detektoren werden in Industrie-, Chemikalie-, Öl- und Gasanwendungen häufig eingesetzt, und die Halbleiterindustrie war ebenfalls beteiligt.
Postzeit: Februar-2024