Schwanzgasbehandlungsgeräte können Gase behandeln, die bei Radierungsprozessen und chemischen Dampfabscheidungsprozessen in den Halbleiter-, Flüssigkristall- und Solarenergie -Industrien, einschließlich SiH4, SiH2CL2, PH3, B2H6, Teos, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, NH3, NH3, N2O, und so, und in der Halbleiter-, C2F6, NH3, Nh3, NH3, umgewandelt werden.
Abgasbehandlungsmethode
Nach den Merkmalen der Abgasbehandlung kann die Behandlung in vier Arten von Behandlung unterteilt werden:
1. Wasserwaschart (Behandlung von ätzenden Gasen)
2. Oxidierender Typ (Umgang mit brennbaren und giftigen Gasen)
3. Adsorption (gemäß der Art des Adsorptionsmaterials zum entsprechenden Abgas).
4.Plasma -Verbrennungstyp (alle Arten von Abgase können behandelt werden).
Jede Art von Behandlung hat ihre eigenen Vor- und Nachteile sowie ihren Anwendungsbereich. Wenn die Behandlungsmethode das Wasserwaschen ist, ist die Ausrüstung billig und einfach und kann nur mit wasserlöslichen Gasen umgehen. Der Anwendungsbereich des elektrischen Wasserwäschetyps ist höher als der des Wasserwäschetyps, die Betriebskosten sind jedoch hoch. Der trockene Typ hat eine gute Behandlungseffizienz und ist nicht für den Gasfluss anwendbar, der leicht verstopft oder fließt zu werden.
Chemikalien und ihre Nebenprodukte, die üblicherweise in der Halbleiterindustrie verwendet werden, können nach ihren chemischen Eigenschaften und ihren unterschiedlichen Bereichen kategorisiert werden:
1. Entzündbare Gase wie SiH4H2 usw.
2. Giftige Gase wie ASH3, PH3 usw.
3. korrosive Gase wie HF, HCL usw.
4. Treibhausgase wie CF4, NF3 usw. etc.
Da die oben genannten vier Gase für die Umwelt oder den menschlichen Körper schädlich sind, müssen die direkte Emission in die Atmosphäre verhindern, sodass die allgemeine Halbleiteranlage mit einem großen zentralisierten Abgasbehandlungssystem installiert ist. Dieses System ist jedoch nur Wasser-Schrubbenabgase, sodass seine Anwendung auf den Langstöckigkeits-Gas-Lösungsgas-Gas-Gas-Gas-Gas-Gas-Gas-Gas-Gasvergasgrad beschränkt ist. Daher ist es erforderlich, die entsprechenden Abgasbehandlungsgeräte gemäß den aus jedem Prozess abgeleiteten Gaseigenschaften auszuwählen und anzupassen, um das Abgasproblem auf kleine Weise zu lösen. Da sich der Arbeitsbereich hauptsächlich vom zentralen Abgasbehandlungssystem fernhält, führen häufig aufgrund von Gaseigenschaften zu einer Kristallisation oder Staubakkumulation in der Pipeline, was zu Verstopfung der Pipeline führt, was zu Gasleckagen führt und in schwerwiegenden Fällen sogar eine Explosion verursacht, nicht sicherstellen kann, dass die Arbeitssicherheit des Personals des Personals der Personalbeamte. Daher müssen im Arbeitsbereich eine kleine Abgasbehandlungsgeräte konfigurieren, die für die Eigenschaften des Prozessgases geeignet ist, um das stagnierende Abgas im Arbeitsbereich zu verringern, um die Sicherheit des Personals zu gewährleisten.
Postzeit: Aug-10-2023