1 | Max. Arbeitsdruck 20,6 MPa. |
2 | max.Arbeitstemperatur 204℃ (Hochtemperaturumgebung bis zu 454℃, zu diesem Zeitpunkt wird das Dichtungsmaterial durch expandierten Graphit ersetzt) |
3 | Filtersystem Partikelförmige Schadstoffe, Gase, Flüssigkeiten sind anwendbar. |
4 | Pulvermetallurgie-Sinterfilter aus Edelstahl, Filtergenauigkeit 2 μm ~ 40 μm |
5 | Filterfluss 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.Pa |
6 | Filter kann gewechselt werden. |
Produkteigenschaften von Filter
1 | Breiter Anwendungsbereich, Durchflussbereich von 15 bis 300 SL / min. |
2 | Es hat eine gute Kompatibilität mit den meisten hochreinen Halbleiterprozessgasen. |
3 | 3 Nanopartikel-Filtrationskapazität hält eine hohe Durchflusseffizienz und einen ultrakleinen Druckabfall aufrecht. |
4 | 5Ra elektropolierte Oberfläche kann interne Verschmutzung verhindern. |
5 | Backen mit heißem Stickstoff nach entionisiertem Wasser, um Halbleiterprozessstandards zu erfüllen. |
6 | 1000 staubfreie aseptische Fertigungs-, Reinigungs- und Verpackungsumgebung. |
7 | Test auf 100 % Heliumleckage. |
Einlass | Auslauf | |
1 | 1/8″ Rohrverschraubung | 1/8″ Rohrverschraubung |
2 | 1/4″ Rohrverschraubung | 1/4″ Rohrverschraubung |
3 | 3/8″ Rohrverschraubung | 3/8″ Rohrverschraubung |
4 | 1/2″ Rohrverschraubung | 1/2″ Rohrverschraubung |
5 | 6MM Rohrverschraubung | 6MM Rohrverschraubung |
6 | 8MM Rohrverschraubung | 8MM Rohrverschraubung |
7 | 10MM Rohrverschraubung | 10MM Rohrverschraubung |
8 | 12MM Rohrverschraubung | 12MM Rohrverschraubung |
9 | 1/8″ NPT-Innengewinde | 1/8″ NPT-Innengewinde |
10 | 1/4″ NPT-Innengewinde | 1/4″ NPT-Innengewinde |
11 | 1/4″ NPT-Außengewinde | 1/4″ NPT-Außengewinde |
12 | 3/8″ NPT-Außengewinde | 3/8″ NPT-Außengewinde |
13 | 1/2″ NPT-Außengewinde | 1/2″ NPT-Außengewinde |
Produktleistungsparameter des Filters
1 | Filtergenauigkeit | ≥0,0025 μm | |
2 | Filtrationseffizienz | Entfernungsrate 99,99999 % ≥ 0,0025 μm | |
3 | Nenndurchfluss | 15 l/Min | |
4 | 60 l/Min | ||
5 | 120 l/Min | ||
6 | 200 l/Min | ||
7 | 300 l/Min | ||
8 | Filterzusammensetzung | filter Element | 316L/PTFE |
9 | Gehäuse | Edelstahl 316L | |
10 | Arbeitsbedingungen | Maximaler Eingangsdruck | 21 MPa (310 kgf/cm2) |
11 | Maximaler Differenzdruck | 15 MPa (153 kgf/cm2) | |
12 | Maximale Betriebstemperatur | 430℃ (Edelgas) | |
13 | Helium-Leckrate | 1×10-9 atm.cc/sek | |
14 | Oberflächenveredlung | ≤ Ra 5 μin |